真空紫外光譜系統(tǒng)VUVAS
簡(jiǎn) 述：
McPherson 的VUVAS 系統(tǒng)主要應(yīng)用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無(wú)塵、充氮?dú)馇鍧嵒蛘婵辗庋b，到紫外增強(qiáng)的光學(xué)器件、光源、探測(cè)器，再到電腦優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)，所有的VUVAS 系統(tǒng)的部件設(shè)計(jì)都是為了提高光學(xué)分析的效果和簡(jiǎn)化用戶的測(cè)量任務(wù)。
品 牌：
美國(guó) Mcpherson
產(chǎn)品型號(hào)：
- VUVAS
這是迄今為止，用于深紫外和真空紫外測(cè)量*好的儀器。相比其他儀器廠家，McPherson 的光譜儀憑借其悠久的歷史和卓越的技術(shù)，特別在很少有光譜儀可以覆蓋到的120nm-400nm 光譜區(qū)域, 有著當(dāng)之無(wú)愧的領(lǐng)先地位。在紫外激光器、光學(xué)器件、晶體材料、以及共振拉曼儀器的研發(fā)和制造中，以及基礎(chǔ)研究，都需要用到此波段的單色儀來(lái)作分析、鑒定和測(cè)試。
McPherson 的VUVAS 系統(tǒng)主要應(yīng)用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無(wú)塵、充氮?dú)馇鍧嵒蛘婵辗庋b，到紫外增強(qiáng)的光學(xué)器件、光源、探測(cè)器，再到電腦優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)，所有的VUVAS 系統(tǒng)的部件設(shè)計(jì)都是為了提高光學(xué)分析的效果和簡(jiǎn)化用戶的測(cè)量任務(wù)。
VUVAS 系統(tǒng)也有用于氣體和液體樣品的樣品架。大多數(shù)用戶測(cè)量覆蓋在基板上的樣品的透射，標(biāo)配有一個(gè)XYZ 可調(diào)的樣品架，對(duì)于一些特殊應(yīng)用，可選低溫單樣品裝置和大面積樣品掃描附件。VUVAS 系統(tǒng)還可以測(cè)量反射光譜并且還很容易改變光到樣品表面的入射角。另外探測(cè)器也是可調(diào)的，它可以保持theta/2-theta 的幾何學(xué)角度來(lái)做鏡面反射率測(cè)量，或者偏離這個(gè)角度來(lái)做散射和色散測(cè)量。
VUVAS 的設(shè)計(jì)可以提供絕對(duì)測(cè)量，一個(gè)探測(cè)器可以同時(shí)作為參考探測(cè)器及*終的透射或反射的測(cè)量探測(cè)器，這種方法使得用戶在不使用額外附件的情況下得到更好的探測(cè)效果。在波長(zhǎng)小于350nm 時(shí)，可以用于標(biāo)準(zhǔn)樣品的材料很少，一個(gè)原因是材料需要能夠接受高能量紫外線的照射，另外對(duì)污染較敏感。在157nm 的光波照射下，若有單層水，氧氣或油污染的存在，光會(huì)損失15%。VUVAS 系統(tǒng)的真空設(shè)計(jì)，為光譜測(cè)量提供了有效而精確的數(shù)據(jù)。
VUVAS 集成系統(tǒng)是一個(gè)整體解決方案。一鍵式真空（N2 清潔）控制系統(tǒng)和軟件設(shè)計(jì)可以讓用戶更放心也更方便的進(jìn)行高品質(zhì)的深紫外和真空紫外測(cè)量，它彌補(bǔ)了許多實(shí)驗(yàn)室對(duì)于高性能紫外可見光譜儀檢測(cè)的設(shè)備需求，并在深紫外和真空紫外區(qū)域提供了堅(jiān)實(shí)而卓越的性能。
真空紫外光譜系統(tǒng)VUVAS特點(diǎn)
McPherson 的VUVAS 系統(tǒng)主要應(yīng)用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無(wú)塵、充氮?dú)馇鍧嵒蛘婵辗庋b，到紫外增強(qiáng)的光學(xué)器件、光源、探測(cè)器，再到電腦優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)，所有的VUVAS 系統(tǒng)的部件設(shè)計(jì)都是為了提高光學(xué)分析的效果和簡(jiǎn)化用戶的測(cè)量任務(wù)。
VUVAS 系統(tǒng)也有用于氣體和液體樣品的樣品架。大多數(shù)用戶測(cè)量覆蓋在基板上的樣品的透射，標(biāo)配有一個(gè)XYZ 可調(diào)的樣品架，對(duì)于一些特殊應(yīng)用，可選低溫單樣品裝置和大面積樣品掃描附件。VUVAS 系統(tǒng)還可以測(cè)量反射光譜并且還很容易改變光到樣品表面的入射角。另外探測(cè)器也是可調(diào)的，它可以保持theta/2-theta 的幾何學(xué)角度來(lái)做鏡面反射率測(cè)量，或者偏離這個(gè)角度來(lái)做散射和色散測(cè)量。
VUVAS 的設(shè)計(jì)可以提供絕對(duì)測(cè)量，一個(gè)探測(cè)器可以同時(shí)作為參考探測(cè)器及*終的透射或反射的測(cè)量探測(cè)器，這種方法使得用戶在不使用額外附件的情況下得到更好的探測(cè)效果。在波長(zhǎng)小于350nm 時(shí)，可以用于標(biāo)準(zhǔn)樣品的材料很少，一個(gè)原因是材料需要能夠接受高能量紫外線的照射，另外對(duì)污染較敏感。在157nm 的光波照射下，若有單層水，氧氣或油污染的存在，光會(huì)損失15%。VUVAS 系統(tǒng)的真空設(shè)計(jì)，為光譜測(cè)量提供了有效而精確的數(shù)據(jù)。
VUVAS 集成系統(tǒng)是一個(gè)整體解決方案。一鍵式真空（N2 清潔）控制系統(tǒng)和軟件設(shè)計(jì)可以讓用戶更放心也更方便的進(jìn)行高品質(zhì)的深紫外和真空紫外測(cè)量，它彌補(bǔ)了許多實(shí)驗(yàn)室對(duì)于高性能紫外可見光譜儀檢測(cè)的設(shè)備需求，并在深紫外和真空紫外區(qū)域提供了堅(jiān)實(shí)而卓越的性能。
真空紫外光譜系統(tǒng)VUVAS特點(diǎn)
• 校正過的紫外光譜儀設(shè)計(jì)
• 可選抽真空或充氮?dú)鈨煞N方式
• 115nm 到380nm 光譜范圍
• 可調(diào)樣品和探測(cè)器角度
• 透射, 反射和散射測(cè)量
• 可選大面積樣品掃描附件
• 可選低溫樣品裝置
• 可選偏振附件
• 可選紫外發(fā)光附件
• 光電探測(cè)器紫外光譜響應(yīng)度測(cè)試
透射
反射
標(biāo)準(zhǔn)偏差
透射
反射
標(biāo)準(zhǔn)偏差
McPherson VUVAS 可以測(cè)量樣品的透射和反射，樣品直徑*大可達(dá)350mm, 整個(gè)區(qū)域測(cè)量精度約為0.1%，在特定的波長(zhǎng)可以達(dá)到更好的精度， 比如193nm 和157nm。 McPherson VUVAS 系統(tǒng)采用氮?dú)馇鍧嵒虺檎婵盏姆绞剑梢院苋菀椎竭_(dá)深紫外和真空紫外區(qū)域（120 to 380nm）的要求, 該系統(tǒng)可直接和晶圓處理系統(tǒng)聯(lián)用，測(cè)量室是干凈和無(wú)塵的，確保您有價(jià)值樣品的安全性和高質(zhì)量的測(cè)試。
測(cè)量不同的光學(xué)樣品的吸收，透射和反射。選用真空紫外、極紫外或紫外- 可見- 紅外光譜儀。用不銹鋼反射裝置放置多個(gè)樣品，進(jìn)行5°到 180°（相應(yīng)的探測(cè)器從10°到180°的角度）Theta / 2-theta 測(cè)量和非鏡面散射測(cè)量。一些譜儀可用積分球做漫反射測(cè)量。還可選加熱或制冷樣品架，測(cè)量可以在真空下，充氮氛圍下或大氣環(huán)境下進(jìn)行。
VUVAS 系統(tǒng)，如果配上已標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，可用于測(cè)試光電探測(cè)器件深紫外的光譜響應(yīng)度。
測(cè)量不同的光學(xué)樣品的吸收，透射和反射。選用真空紫外、極紫外或紫外- 可見- 紅外光譜儀。用不銹鋼反射裝置放置多個(gè)樣品，進(jìn)行5°到 180°（相應(yīng)的探測(cè)器從10°到180°的角度）Theta / 2-theta 測(cè)量和非鏡面散射測(cè)量。一些譜儀可用積分球做漫反射測(cè)量。還可選加熱或制冷樣品架，測(cè)量可以在真空下，充氮氛圍下或大氣環(huán)境下進(jìn)行。
VUVAS 系統(tǒng)，如果配上已標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，可用于測(cè)試光電探測(cè)器件深紫外的光譜響應(yīng)度。
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