OPTM 半導(dǎo)體膜厚測試儀
簡 述：
測量目標(biāo)膜的絕對反射率，實現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試！ （分光干渉法）
品 牌：
日本 大塚電子
產(chǎn)品型號：
- optm
特長 Features
測量項目 Measurement item
構(gòu)成圖
半導(dǎo)體膜厚測試儀OPTM 式樣Specifications
※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
· 膜厚測量中必要的功能集中于頭部
· 通過顯微分光高精度測量絕對反射率（多層膜厚、光學(xué)常數(shù)）
· 1點只需不到1秒的高速tact
· 實現(xiàn)了顯微下廣測量波長范圍的光學(xué)系（紫外～近紅外）
· 通過區(qū)域傳感器控制的安全構(gòu)造
· 搭載可私人定制測量順序的強大功能
· 即便是沒有經(jīng)驗的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù)
· 各種私人定制對應(yīng)（固定平臺，有嵌入式測試頭式樣）
測量項目 Measurement item
· 絕對反射率測量
· 膜厚解析
· 光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、ｋ：消光系數(shù)）
構(gòu)成圖
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預(yù)定2016年9月。
＊ 膜厚范圍是SiO2換算。
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